★覆層厚度的測量辦法首要有：楔切法，光截法，電解法，厚度差測量法，稱重法，X射線熒光法，β射線反向散射法，電容法、磁性測量法及渦流測量法等。這些辦法中前五種是有損檢查，測量手法繁瑣，速度慢，多適用于抽樣查驗。
★X射線和β射線法是無觸摸無損測量，但設備雜亂貴重，測量規模較小。因有放射源，使用者有必要恪守射線防護標準。X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適宜鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導電體的絕緣覆層測厚時選用。
★隨著技能的日益前進，特別是這些年引進微機技能后，選用磁性法和渦流法的測厚儀向微型、智能、多功能、高精度、實用化的方向進了一步。測量的分辨率已達0.1微米，精度可到達1%，有了大幅度的進步。
★它適用規模廣，量程寬、操作簡潔且價廉，是工業和科研使用廣泛的涂層測厚儀器；選用無損辦法既不損壞覆層也不損壞基材，檢查速度快，能使很多的檢查作業經濟地進行。
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